發布時間： 2025-12-27 瀏覽次數：505
射頻等離子體增強滑軌式管式爐系統是一套集精密機械定位、射頻等離子體激發與動態氣氛控制于一體的先進材料制備平臺。該系統通過手動滑軌移動式高溫爐體、射頻電源與集成高精度氣柜的協同設計，實現了樣品快速裝卸、局部加熱、等離子體輔助反應及工藝氣氛的精準調控，特別適用于需要快速熱循環、氣氛敏感或表面活化的先進材料合成與處理工藝。
 | 主要技術特點與優勢： 1. 手動滑軌移動式高溫管式爐 · 爐體安裝在精密直線滑軌上，可實現平滑手動推移，使反應腔體（剛玉或石英管）快速脫離或覆蓋樣品區域，便于快速裝樣、取樣及反應區定位。 · 最高工作溫度可達1200℃，溫控精度達±0.5%，支持多段程序升降溫。 · 爐體結構緊湊，隔熱設計高效，確保滑軌移動時穩定可靠，并能適應臥式安裝方式。 2. 射頻等離子體激發系統 · 配備13.56 MHz工業標準射頻電源，具備自動阻抗匹配功能，確保等離子體激發高效穩定。 3. 質量流量控制氣柜 · 集成多通道質量流量控制器（MFC），氣體控制精度達±1% FS，支持惰性、還原性、腐蝕性等多路氣體動態混合與切換。 三種可切換工藝模式： 1. 純熱工模式：僅使用管式爐進行常規燒結、退火或化學氣相沉積（CVD）。 2. 等離子體輔助模式：開啟射頻激發，實現等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、材料表面活化或低溫合成。 3. 快速熱循環模式：通過滑軌移動爐體，實現樣品快速進入/離開高溫區，適用于淬火、分段反應等動態工藝。 技術優勢 · 操作靈活高效：滑軌設計極大簡化樣品裝卸流程，避免整體爐體移動帶來的熱場擾動，提升實驗重復性。 · 能場協同精準：熱場與射頻等離子體場可獨立或疊加使用，顯著拓寬工藝窗口，實現材料微觀結構精確調控。 | |||
設備名稱 | 滑軌爐 | |||
規格型號 | NBD-CMT1200-TSL-50 | |||
供電電源 | 220V 50HZ | |||
額定功率 | 2.5KW | |||
加熱元件 | 合金電阻絲 | |||
溫區數量 | 單溫單控 | |||
溫區尺寸 | Φ150*200mm | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
傳感器類型 | N 型熱電偶φ1*250mm | |||
Tmax | 1200℃ | |||
額定溫度 | 1100℃ | |||
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |||
爐管規格 | 石英管φ50*1500mm | |||
進氣口 | Φ6.35mm雙卡套 | |||
出氣口 | Φ8.4mm寶塔 | |||
抽真空口 | KF16 | |||
真空泵 | DRV5 KF16接口 | |||
爐體尺寸 | 長1120*高520*深520mm | |||
重量 | 約40KG | |||
| 不同氣體下反應 |    | |||
 | 等離子射頻模塊PE-500W | |||
設備特點 | 此設備功率可以預設，實現一鍵啟動,自動匹配，而且匹配后功率穩定。 | |||
基本參數 | 輸入電壓:AC220V，50/60HZ 最大反射功率：200W 匹配：自動匹配，空氣電容 | |||
尺寸 | 長760*高455*深575mm | |||
保護功能 | DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 | |||
重量 | 約35KG | |||
保質期 | 一年質保期，終身維護 | |||
VERG- | 300 | 500 | 600 | |
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% | |||
功率輸出范圍:W | 1-300 | 1-500 | 1-600 | |
最大反射功率:W | 120 | 200 | 200 | |
射頻輸出接口:50 Ω | N-type,female | |||
功率穩定度 | ≤2W | |||
諧波分量: ≤dBc | -50 | |||
供電電壓:50/60Hz | 單相交流（187V-253V） | |||
整機效率:≥% | 70 70 | |||
冷卻方式 | 強制風冷 | |||
整機重量:kg | 16±0.5 | |||
整機尺寸:H*W*D(mm) | 88x483x450 | |||
控制系統 |  | 1、燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄； 4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。 | ||
加熱元件 |
| 合金電阻絲 | ||
溫度精度 | ±1℃ | |||
設備使用注意事項 | 1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調諧匹配合適時，再增加功率 | |||
| 發貨現場 |  | |||
服務支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關產品處訂購更換件。） | |||
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