您的位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 >
均溫氧化擴散爐 （Ⅰ型）
發(fā)布時間： 2020-08-26 瀏覽次數(shù)：5852
設(shè)備簡介：均溫氧化擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。
| 設(shè)備特點： 1.溫場均勻，恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm 800~1200℃±1℃ 2.具有強大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件； 6.可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能，具有多點溫度補償 | ||||||
型號 | T1200-250T3均溫爐氧化擴散 | ||||||
可配工藝管外徑 | 爐管外徑152mm 適用于3＂；爐管外徑252mm 適用于6＂； 爐管外徑300mm 適用于8＂ | ||||||
溫度控制范圍 | 300~1150 ℃ | ||||||
恒溫區(qū)長度及精度 | 300～1250mm（依客戶要求定） 300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃ | ||||||
可控升降溫速率 | 升溫速率：≦15℃/min 降溫速率≦5℃/min | ||||||
加熱區(qū)個數(shù) | 3區(qū)，4區(qū)，5區(qū)，6區(qū)（依客戶要求定） | ||||||
送料方式 | 手動送料 | ||||||
冷卻系統(tǒng) | 水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排風冷≈25m3/min； | ||||||
軸向溫場分布 | |||||||
徑向溫場分布 |
| ||||||
控制系統(tǒng) | 1.燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2.可預約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)；3.實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄；4.具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)；5.溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正 |
| |||||
預約燒結(jié) |  | 優(yōu)化設(shè)備利用率、保障燒結(jié)工藝穩(wěn)定性、節(jié)省等待時間，實現(xiàn)高效有序的樣品制備。 | |||||
遠程控制 |  | 可通過電腦、手機等終端，隨時隨地登錄控制系統(tǒng)查看加熱爐運行狀態(tài)（溫度、壓力、升溫速率等），并根據(jù)實驗需求遠程調(diào)整參數(shù)、啟動 / 暫停程序。夜間或節(jié)假日無需往返實驗室，即可應對實驗過程中的參數(shù)微調(diào)需求；跨地域出差時也能實時監(jiān)控關(guān)鍵實驗進程，大幅減少無效通勤時間，讓科研人員更高效地分配工作精力。 | |||||
實驗數(shù)據(jù)存儲 |  | 保障數(shù)據(jù)安全完整、規(guī)范化管理與高效檢索。 | |||||
可預設(shè)多組工藝程序 |  | 可預設(shè)多組實驗專屬溫度程序、保障實驗重復性與操作便捷性，支持工藝優(yōu)化與數(shù)據(jù)追溯，適配團隊協(xié)作與技術(shù)傳承，大幅提升實驗效率與設(shè)計靈活性。 | |||||
非線性溫度補償 |  | 通過算法非線性修正控溫點與樣品由于在溫場中位置不同而產(chǎn)生的溫度偏差，提升控制溫度與樣品溫度的一致性、簡化操作，提升實驗數(shù)據(jù)準確。 | |||||
加熱腔體 |
| 采用優(yōu)質(zhì)加熱絲：KANTHAL及HRE 絕熱材料：晶體纖維等 絕緣子：高純剛玉，間距依據(jù)溫場調(diào)節(jié) 端口過渡環(huán)：氧化鋁纖維真空成型。 溫區(qū)：3段、4段、5段、6段 | |||||
真空密封系統(tǒng) |
| ||||||
真空度：≤10Pa（機械泵） | |||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用質(zhì)子流量計控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體； | |||||
可選配項目 | 1、出料口排毒氣柜； 2、凈化出料臺； 3、自動石英漿推拉舟機構(gòu) | ||||||
設(shè)備使用注意事項 | 1、裝取樣片必須帶石棉手套，使用石英器件小心打碎； 2、選擇合適的石英舟，取出清潔好的石英托板和石英拉鉤； 3、安裝樣片插入到石英舟的槽內(nèi)，用石英拉鉤將石英舟推入爐管到恒溫區(qū)； 4、爐管內(nèi)壓力不得超過0.15MPa（絕對壓力），以防止壓力過大引起危險； 5、高真空下使用時），設(shè)備使用溫度不得超過1000℃； | ||||||
服務支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等） | ||||||
免責聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r，或許導致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
淘寶店鋪
拼多多店鋪
微信公眾號
豫ICP備10201478號-1
Copyright ? 2025 諾巴迪材料科技有限公司 版權(quán)所有
退火燒結(jié)1.jpg)
