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生產(chǎn)型一維材料制備CVD系統(tǒng)
發(fā)布時間： 2022-12-01 瀏覽次數(shù)：2760
設(shè)備簡介：本系統(tǒng)主要包含多溫區(qū)高溫加熱系統(tǒng)、進(jìn)出氣控制系統(tǒng)、電動開蓋系統(tǒng)、自動進(jìn)液系統(tǒng)、PLC自動化控制系統(tǒng)及物料收集系統(tǒng)。大尺寸碳化硅爐管及高達(dá)1380℃的最高工作溫度，可極大提高生產(chǎn)效率并適配更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。
設(shè)備特點 | 1、六溫三控加熱系統(tǒng)，溫場分布更均勻； | ||||||||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-T1500-200T66D6Z | ||||||||||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | ||||||||||||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||||||||||||
額定功率 | 36KW | ||||||||||||||
傳感器類型 | S型熱電偶 | ||||||||||||||
極限溫度 | 1500℃ | ||||||||||||||
| 長期工作最高溫度 | 1380℃ | ||||||||||||||
| 加熱元件 | 高純硅碳棒 | ||||||||||||||
| 溫區(qū)尺寸 | 260*240*1430mm | ||||||||||||||
| 爐管材質(zhì) | 反應(yīng)燒結(jié)碳化硅 | ||||||||||||||
| 注射泵供給速度 | 5-10ml/小時 | ||||||||||||||
推薦升溫速率 | ≤3℃/min（注意：超過最大升溫速率可能會導(dǎo)致爐管斷裂） | ||||||||||||||
| 爐管尺寸 | 內(nèi)徑φ180mm，壁厚10mm，長2150mm | ||||||||||||||
| 爐體外形尺寸 | 長3700×深1000×高1420mm | ||||||||||||||
| 上蓋打開方式 | 電動開合 最大角度45度 | ||||||||||||||
| 基于PLC控制單元的全觸屏智能人機(jī)交互系統(tǒng) |
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| 預(yù)約燒結(jié) |  | 優(yōu)化設(shè)備利用率、保障燒結(jié)工藝穩(wěn)定性、節(jié)省等待時間，實現(xiàn)高效有序的樣品制備 | |||||||||||||
| 實驗數(shù)據(jù)存儲 |  | 保障數(shù)據(jù)安全完整、規(guī)范化管理與高效檢索 | |||||||||||||
| 非線性溫度修正 |  | 通過算法非線性修正控溫點與樣品由于在溫場中位置不同而產(chǎn)生的溫度偏差，提升控制溫度與樣品溫度的一致性、簡化操作，提升實驗數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。 | |||||||||||||
| 20組工藝曲線設(shè)置 |  | 可預(yù)設(shè)多類實驗專屬溫度程序、保障實驗重復(fù)性與操作便捷性，支持工藝優(yōu)化與數(shù)據(jù)追溯，適配團(tuán)隊協(xié)作與技術(shù)傳承，大幅提升實驗效率與設(shè)計靈活性。 | |||||||||||||
| 遠(yuǎn)程操作 |
| 可通過電腦、手機(jī)等終端，隨時隨地登錄控制系統(tǒng)查看加熱爐運行狀態(tài)（溫度、壓力、升溫速率等），并根據(jù)實驗需求遠(yuǎn)程調(diào)整參數(shù)、啟動 / 暫停程序。夜間或節(jié)假日無需往返實驗室，即可應(yīng)對實驗過程中的參數(shù)微調(diào)需求；跨地域出差時也能實時監(jiān)控關(guān)鍵實驗進(jìn)程，大幅減少無效通勤時間，讓科研人員更高效地分配工作精力。 | |||||||||||||
物料收集系統(tǒng)： 1、通過不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護(hù)高溫工作中的碳化硅爐管； |
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高精密注射泵： 采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設(shè)置參數(shù)，多個指示燈清晰確認(rèn)其工作狀態(tài)，支持多種注射器型號選擇，可適應(yīng)不同實驗流量需求，高精度控制，并設(shè)有軟硬保護(hù)機(jī)制，支持注射、抽取等四種工作模式。 |
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六路質(zhì)量流量控制器（6MFC）混氣系統(tǒng) |
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| 重量 | 約660KG | ||||||||||||||
服務(wù)支持 | 1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如石英制品和密封圈等） | ||||||||||||||
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